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低温恒温槽的日常问题及其广泛应用

发布时间:2019-07-03 17:55   浏览:

【导读】“低温恒温槽有哪些日常问题和应用呢”,低温恒温槽应用在单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置等方面。下面由小编来为大家讲解下。
低温恒温槽常见问题和应用范围
一、低温恒温槽应用范围: 对半导体制造装置发热部的冷却:单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。对激光装置发热部分的冷却:激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。

低温恒温槽的日常问题及其广泛应用

二、低温恒温槽常见问题:
1、水循环使用了一年多都很正常,可现在制冷速度好像越来越慢了,在气温越高时越明显 答:水循环使用很简单,但是定期的维护保养工作还是不能忽视的。有很多看似故障的问题其实就是没有定期做维护保养引起的。水循环自身的电功率和制冷剂从负载中带走的热量都需要从前通风罩处的散热器中排走,如果前通风罩上吸满灰尘和柳棉等就会妨碍这些热量的散发,制冷效果下降。在正常的使用条件下制冷量下降都是因为通风散热效果太差或环境温度太高引起的。
2、水循环以前使用都很正常,可现在发现噪音比以前大很多,这是什么原因? 答:前面提到过水循环的日常维护工作,这个问题也与之有关。大家都知道,水里面有很少部分的杂质,就是蒸馏水在加到水箱后也不可能保证一点杂质都没有。对于水循环而言,一般温度都设置在20℃,比较适应微生物的生长和繁衍。时间长了以后这些微生物就会堵塞水路的过滤器造成回水不畅,水泵就会有较大的噪音。有时这些微生物附在了换热器的表面,造成换热器的传热效果变差,制冷量变小。所以需要严格按照说明书中的要求做好日常维护工作,定时清洗内槽,长期停用,保持槽内干燥。水循环里面好像有漏水,有时地面一会儿就有几滴,是不是水路上有地方泄漏?在正常使用的过程中,水路是不会有泄漏的。在环境温度比较高空气中的相对湿度又太大时,在水循环的水路中的水泵、水管接头、外接水管处容易凝结露水,累积多了以后就滴到地面上了,不用担心是水路中有漏水的地方。如果您对这很介意的话,打开空调降低房间温度或是除湿都可以避免露水的产生。
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